华海清科请求一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备专利改动卡爪组件的作业状况

  金融界2024年12月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，华海清科（北京）科技有限公司请求一项名为“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备”的专利，公开号 CN 119170556 A，请求日期为2024年8月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备，该晶圆夹持组织包含：转盘；卡爪组件，其沿转盘的周向设置，以夹持待处理的晶圆；顶升件，其设置于转盘的下方，用于间歇顶升卡爪组件的顶杆，所述顶杆可以抵接于卡爪组件的导向轴，使得导向轴及其上的卡爪沿轴线旋转，以改动卡爪组件的作业状况。

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